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技術(shù)支持

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干式真空泵特點分析

點擊:2439 日期:2018-11-27 選擇字號:

近年來,干式機(jī)械真空泵得到迅速的發(fā)展,國外多家大真空公司都研制出了新型的干式械真空泵。國內(nèi)的許多單位也一直在進(jìn)行干式機(jī)械真空泵的開發(fā)研制工作,如東北大學(xué)、沈陽真空技術(shù)研究所、上海真空泵廠等。目前,干式機(jī)械真空泵主要分為接觸型及非接觸型。接觸型的干式泵有葉片式、凸輪式、往復(fù)活塞式、膜片式等,這類泵的速度較低,適用于小容量高壓縮比 ( 單級壓縮比 ) 。非接觸型的干式泵有羅茨型、爪型、螺桿型、渦旋型等,其速度較高,適用大容量,低壓縮比 ( 指單級壓縮比 ) 。不同類型的干式泵具有各自的特點。使用時可根據(jù)不同的用途加以選擇。

無油干式真空泵的特點:   
1、在使用真空,排氣的場合也不含有油份,不會像油式真空泵那樣對作業(yè)環(huán)境或制品造成污染,能夠在各個領(lǐng)域使用。   
2、與油式真空泵相比,不需要給泵加油,基本不需要點檢和檢修。  
3、運費聲音低,使用壽命長。同時裝備有真空壓力表,調(diào)壓控制器。   
4、由于使用了特殊的自潤滑碳精片,具有很強(qiáng)的耐磨性。   
5、由于能夠高速運轉(zhuǎn),因此可以與電機(jī)直連。這樣可使泵小型化。   
6、由于多枚滑片的高速回轉(zhuǎn),可使脈動很小,吸排氣穩(wěn)定。   

目前,真空行業(yè)使用的大多數(shù)機(jī)械真空泵都是用油、水或其它聚合物等流體充當(dāng)泵的工作介質(zhì),在泵內(nèi)起冷卻、密封、潤滑等多種作用。隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展以及真空應(yīng)用領(lǐng)域的擴(kuò)大,原有的機(jī)械真空泵及其組成的抽氣系統(tǒng)出現(xiàn)了兩個急需解決問題:一是泵的工作介質(zhì)返流污染被抽容器,而這種返流在許多情況下影響產(chǎn)品的質(zhì)量、數(shù)量,增加設(shè)備的維護(hù)成本。其次,由于某些工藝過程中的反應(yīng)物質(zhì)使真空泵內(nèi)的介質(zhì)嚴(yán)重變質(zhì),使泵不能正常工作。
對于普通的無油真空系統(tǒng)來說,雖然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之類附件來防止返流,但不能徹底解決問題,而且使系統(tǒng)顯得復(fù)雜。而使用適當(dāng)型式的干式機(jī)械真空泵,則可以達(dá)到理想的使用效果。
干式機(jī)械真空泵的應(yīng)用是廣泛的,主要有以下幾個方面:

1) 低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝中;

2) 半導(dǎo)體刻蝕工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒;

3) 除半導(dǎo)體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,則用一定型式的干式機(jī)械真空泵可以滿足要求;
4) 在化學(xué)工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等,要防止有機(jī)溶劑造成污染,適合用干式真空泵;
5) 用做一般無油清潔真空系統(tǒng)的前級泵,以防止油污染。
在醫(yī)藥化工生產(chǎn)過程中,涉及大量的真空分離過程,如有機(jī)溶媒的真空粗回收或低真空回收、高沸點熱敏性物料的高真空蒸餾、去除固體雜質(zhì)的真空過濾、粉狀中間體或產(chǎn)品的真空干燥等,均要用到真空獲得設(shè)備-真空泵。真空泵的合理選擇和配置對真空分離過程的優(yōu)化具有至關(guān)重要的意義。隨著GMP和ISO14001環(huán)境管理體系及OHSAS18001職業(yè)健康安全管理體系的推進(jìn)實施,高效、節(jié)能、降耗、安全、環(huán)保在醫(yī)藥化工生產(chǎn)中已成為主旋律,與此相適應(yīng),醫(yī)藥化工領(lǐng)域的設(shè)備選擇和配置也面臨著新的更高的要求。本文著重就無油真空泵在醫(yī)藥化工清潔生產(chǎn)中的實踐應(yīng)用作一粗淺的闡述。

此文關(guān)鍵詞: 無油真空泵丨干式真空泵
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